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洁净室的不同洁净等级以及对应的粒子数 PDF 打印 E-mail
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环境测量技术
周二, 2009年 01月 06日 22:09

1963年,美国出了个洁净室标准FED—STD一209,在这项标准中,按每立方英尺中≥O.5U.m粉尘数量的最高允许浓度,将洁净室分成若干 等级,如100级、10000级、100000级。2001年,中国新颁布的洁净室设计标准中采用了ISO分级。ISO洁净度等级以及与传统分级的对应关 系见表。

ISO分级序数 大于或等于表中粒径的最大浓度限[pc/m3,]  

 

(N)          0.1um     0.2um     0.3um     0.5um     1um 5um

ISO Class 1    10        2                                

ISO Class 2    100      24        10    4                  

ISO Class 3    1000       237      102  35    8                                 1级

ISO Class 4    10000     2370       1020       352  83                            10级

ISO Class 5    100000    23700     10200     3520       832  29                 100级

ISO Class 6    1000000  237000    102000    35200     8320       293          1000级

ISO Class 7                                     352000    83200     2930           10000级

ISO Class 8                                     3520000  832000    29300         100000级

ISO Class 9                                     35200000       8320000  293000    

习惯说法的10万级的洁净度是指(按照美国联邦标准209E)在一立方英尺的空间内颗粒尺寸大于等于0.5微米的粒子数为10万个。

ISO14644-1标准统计的参照粒子为大于等于0.1微米的粒子数(大于等于0.5微米的粒子数也做了规定),分类依据是一立方米内的大于等于0.1微米的粒子数。
按照这样的标准去换算,习惯说法的10万级的洁净度属于ISO 8级。
——我的个人见解,实际是ISO 8级中比较“干净”的,但是肯定达不到ISO 7级。因为ISO 8级中大于等于0.5微米的粒子数可以达到3520000,相当于一立方英尺的空间内大于等于0.5微米的粒子数可以达到32万个。
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